塵埃粒子計(jì)數(shù)器廠家介紹半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室塵埃粒子濃度等級(jí)劃分原則

潔凈室技術(shù)：半導(dǎo)體行業(yè)的革新者

在現(xiàn)代工業(yè)和高科技領(lǐng)域，潔凈室技術(shù)的進(jìn)步與成就與日俱增。特別是在精密機(jī)械制造（例如陀螺儀和微型軸承的加工）和半導(dǎo)體制造（比如大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)）等高要求環(huán)境中，潔凈室技術(shù)的應(yīng)用已成為必不可少的一環(huán)。據(jù)國(guó)內(nèi)研究顯示，在沒有潔凈室控制的環(huán)境中，MOS電路管芯的良品率僅為10%至15%，而64位存儲(chǔ)器的合格率更是低至2%。由此可見，在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、航天和核能等行業(yè)，潔凈室已成為廣泛使用的標(biāo)準(zhǔn)配置。

世界各個(gè)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)及科技先進(jìn)的國(guó)家和地區(qū)均建立了各自的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，制定了詳盡的規(guī)范。中國(guó)于1984年發(fā)布了《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GBJ73-84），并在1996年對(duì)該規(guī)范進(jìn)行了重大修訂，1990年又推出了《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-90），這些文檔對(duì)潔凈室的建設(shè)和驗(yàn)收起到了重要的指導(dǎo)作用。根據(jù)1992年美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的Federal Standard (FS) 209E標(biāo)準(zhǔn)，潔凈室被分為六個(gè)等級(jí)：1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)和100000級(jí)。

潔凈室的等級(jí)通常根據(jù)塵埃粒子的數(shù)量來定義，假設(shè)這些粒子的直徑為0.5微米。例如，10級(jí)潔凈室中，直徑0.2微米或更大的塵埃粒子的密度不得超過每立方英尺75顆，而1級(jí)潔凈室中，直徑0.1微米或更大的塵埃粒子的密度不得超過每立方英尺35顆。以下是塵埃粒子計(jì)數(shù)器生產(chǎn)商為我們概述的各個(gè)級(jí)別的應(yīng)用。

• 1級(jí)潔凈室：這是微電子工業(yè)制造集成電路時(shí)所需的最高標(biāo)準(zhǔn)，要求精確到亞微米級(jí)別。

• 10級(jí)潔凈室：適用于生產(chǎn)線寬小于2微米的半導(dǎo)體產(chǎn)品。

• 100級(jí)潔凈室：被廣泛認(rèn)為是最多用途的潔凈室。雖然有時(shí)被誤稱為無菌室，但其實(shí)它主要用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造流程，以及制造植入體內(nèi)的醫(yī)療器械和外科手術(shù)用品，特別是對(duì)于易感染的病人提供隔離治療環(huán)境。

• 1000級(jí)潔凈室：主要用于制造高品質(zhì)光學(xué)產(chǎn)品，以及高質(zhì)量微型軸承的測(cè)試和裝配。

• 10000級(jí)潔凈室：用于液壓或氣壓設(shè)備的裝配工作，有時(shí)也用于食品和飲料工業(yè)。在醫(yī)療工業(yè)中也十分常見。

• 100000級(jí)潔凈室：應(yīng)用于多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域，包括光學(xué)產(chǎn)品的制造、小型元件的電子系統(tǒng)組裝、液壓或氣壓制造，以及食品和飲料生產(chǎn)。醫(yī)藥行業(yè)也經(jīng)常采用這一級(jí)別的潔凈室。

潔凈室是一個(gè)綜合性極強(qiáng)的系統(tǒng)，其多功能性體現(xiàn)在以下兩個(gè)方面：

• 多專業(yè)：包括建筑、空調(diào)、凈化、純水和純氣的系統(tǒng)集成。

• 多參數(shù)：涵蓋空氣潔凈度、微生物濃度、以及空氣流量、壓力、噪聲、照明等多種參數(shù)的控制。10000級(jí)潔凈室具有高強(qiáng)度、良好的隔熱保溫性能，可用于承重的天花板和圍護(hù)結(jié)構(gòu)，具備良好的抗彎抗壓性能，通常不需要使用梁柱結(jié)構(gòu)。