塵埃粒子計(jì)數(shù)器的工作原理

塵埃粒子計(jì)數(shù)器的工作原理

一、核心原理：光散射效應(yīng)

塵埃粒子計(jì)數(shù)器基于光散射現(xiàn)象工作，當(dāng)空氣中的微粒通過(guò)激光束時(shí)，粒子表面會(huì)使光線發(fā)生散射，散射光強(qiáng)度與微粒表面積成正比。通過(guò)測(cè)量散射光信號(hào)，可反推粒子尺寸及數(shù)量‌13。

二、工作流程分步解析

1. ‌采樣階段‌
   內(nèi)置采樣泵以恒定流量（如28.3L/min）抽取空氣樣本，確保粒子均勻通過(guò)檢測(cè)腔‌68。

2. ‌光散射觸發(fā)‌
   激光光源（或白光）照射粒子，粒子表面散射光信號(hào)，其強(qiáng)度與粒徑相關(guān)。例如，0.3μm粒子產(chǎn)生的散射光弱于1μm粒子‌13。

3. ‌信號(hào)轉(zhuǎn)換與放大‌
   光學(xué)傳感器（如光電倍增管）接收散射光，將其轉(zhuǎn)換為微弱的電脈沖信號(hào)，并通過(guò)電子線路放大至可處理范圍‌35。

4. ‌信號(hào)分析與分類‌
   放大后的電脈沖經(jīng)數(shù)字處理系統(tǒng)與預(yù)存的標(biāo)準(zhǔn)粒子信號(hào)對(duì)比，按脈沖幅度區(qū)分粒徑（如0.3μm、0.5μm、5μm等），并統(tǒng)計(jì)各通道粒子數(shù)量‌67。

5. ‌數(shù)據(jù)輸出與顯示‌
   最終結(jié)果以“粒子數(shù)/立方米”形式顯示，部分設(shè)備支持多通道粒徑分布圖及ISO潔凈度等級(jí)自動(dòng)判定‌16。

三、技術(shù)實(shí)現(xiàn)差異

• ‌光源類型‌：激光光源（0.1μm高精度檢測(cè)）對(duì)比白光光源（成本低但靈敏度較低）‌15。
• ‌信號(hào)處理‌：高端型號(hào)采用多級(jí)放大電路和抗干擾算法，可識(shí)別重疊粒子信號(hào)，減少計(jì)數(shù)誤差‌57。
• ‌采樣優(yōu)化‌：大流量設(shè)計(jì)（如100L/min）縮短檢測(cè)時(shí)間，適用于百級(jí)潔凈室快速驗(yàn)證‌68。

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體車間中檢測(cè)0.1μm級(jí)顆粒，防止晶圓污染‌56。
• 醫(yī)院手術(shù)室實(shí)時(shí)監(jiān)控≥0.5μm粒子濃度，確保無(wú)菌環(huán)境‌16。

通過(guò)上述原理，塵埃粒子計(jì)數(shù)器實(shí)現(xiàn)了對(duì)空氣中微粒的精準(zhǔn)量化，為潔凈環(huán)境控制提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐‌36。