凈化車間施工方案中最關(guān)鍵的步驟

施工方案中最關(guān)鍵的步驟

一、基礎(chǔ)工程與圍護(hù)結(jié)構(gòu)搭建

• ‌地面處理‌：采用環(huán)氧自流平或防靜電PVC材質(zhì)，確保平整度≤2mm/2m，減少微粒積聚‌38。
• ‌圍護(hù)結(jié)構(gòu)密封‌：使用玻鎂巖棉彩鋼板搭建，接縫處采用硅膠密封，泄漏率≤0.05%‌38。

二、空調(diào)系統(tǒng)安裝與調(diào)試

• ‌新風(fēng)機(jī)組（MAU）安裝‌：配置初效（G4）、中效（F8）及高效（H14）三級過濾，處理深度需達(dá)到露點(diǎn)溫度≤-40℃‌38。
• ‌恒溫恒濕控制‌：通過干盤管（DCC）二次調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)溫度22±0.5℃、濕度45±5%RH的精準(zhǔn)控制‌38。

三、FFU陣列安裝與氣流組織優(yōu)化

• ‌FFU滿布率控制‌：ISO 3級區(qū)域FFU滿布率需達(dá)100%，其他潔凈區(qū)域按25%-75%梯度調(diào)整，確保層流風(fēng)速0.45±0.1m/s‌38。
• ‌壓差梯度設(shè)置‌：潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)壓差≥10Pa，采用雙門互鎖傳遞窗維持壓差穩(wěn)定性‌38。

四、環(huán)境參數(shù)驗(yàn)證與系統(tǒng)聯(lián)調(diào)

• ‌潔凈度測試‌：使用塵埃粒子計數(shù)器檢測0.1μm顆粒濃度，ISO 3級區(qū)域要求≤10個/m³‌38。
• ‌溫濕度校準(zhǔn)‌：連續(xù)48小時監(jiān)測溫濕度波動（±0.3℃/±3%RH），確保與EMS系統(tǒng)數(shù)據(jù)同步‌38。
• ‌能耗驗(yàn)證‌：單位面積制冷量≤0.6kW/m²，綜合COP≥4.5‌38。

五、冗余系統(tǒng)配置與應(yīng)急預(yù)案

• ‌備用機(jī)組部署‌：MAU采用三用一備模式，故障時10分鐘內(nèi)切換備用機(jī)組‌8。
• ‌過濾器更換計劃‌：初/中效過濾器每3個月更換，高效過濾器每12-18個月更換，并記錄維護(hù)日志‌8。

通過上述步驟的系統(tǒng)化實(shí)施，可保障半導(dǎo)體車間潔凈度、溫濕度及能耗指標(biāo)滿足先進(jìn)制程要求‌38