電子行業(yè)懸浮粒子檢測原理及流量如何選擇？

              在電子行業(yè)中，對懸浮粒子進(jìn)行檢測是一項(xiàng)關(guān)鍵的質(zhì)量控制過程。塵埃粒子計(jì)數(shù)器作為這一過程的重要工具，其流量選擇對于采樣速率和檢測效率起著決定性作用。當(dāng)前市場上的塵埃粒子計(jì)數(shù)器提供了多種流量選項(xiàng)，如2.83L/min、28.3L/min、50L/min、100L/min等，這些不同的流量值實(shí)質(zhì)上代表著不同的空氣采樣速率。一個(gè)較大的流量值意味著在單位時(shí)間內(nèi)能夠采集更多的空氣樣本，因此能更準(zhǔn)確地反映出潔凈室的實(shí)際潔凈水平。

國際上通常使用“立方英尺”作為測量單位，而在國內(nèi)則轉(zhuǎn)換為“升”來表示，其中1立方英尺等于28.3168升。塵埃粒子計(jì)數(shù)器最初是按照國際標(biāo)準(zhǔn)制造的，國際上通常的流量標(biāo)準(zhǔn)為0.1立方英尺每分鐘，即2.83升每分鐘。因此，通常建議使用流量在28.3L/min以上的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，以便提升檢測的效率和工作的效率。

塵埃粒子計(jì)數(shù)器的檢測原理基于光散射現(xiàn)象。當(dāng)空氣中的微粒被光照射時(shí)，會(huì)發(fā)生散射，這一現(xiàn)象取決于多個(gè)因素，包括顆粒的大小、光波的波長、顆粒的折射率以及顆粒對光的吸收特性。一個(gè)基本的物理定律是，顆粒的散射光強(qiáng)度會(huì)隨著顆粒表面積的增加而增強(qiáng)。通過測量散射光的強(qiáng)度，可以推斷出顆粒的大小。塵埃粒子計(jì)數(shù)器就是利用這一原理工作的。實(shí)際上，每個(gè)微粒產(chǎn)生的散射光是微弱的光脈沖。這些光脈沖通過光電轉(zhuǎn)換器被放大，轉(zhuǎn)換成電脈沖信號，然后通過電子電路進(jìn)行進(jìn)一步的放大和甄別，最終完成對大量電脈沖的計(jì)數(shù)。在這個(gè)過程中，電脈沖的數(shù)量代表了顆粒的數(shù)量，而電脈沖的幅度則代表了顆粒的大小。

塵埃粒子計(jì)數(shù)器的具體工作機(jī)制如下：光源發(fā)出的光束通過第一組透鏡聚焦在測量腔內(nèi)。當(dāng)空氣中的微粒迅速通過這一測量腔時(shí)，它們會(huì)散射入射光并形成光脈沖信號。這些光脈沖信號隨后通過第二組透鏡傳輸至光檢測器，并按比例轉(zhuǎn)換成電脈沖信號。這些信號經(jīng)由儀器的電子線路放大和甄別后，被檢測出來并通過計(jì)數(shù)系統(tǒng)進(jìn)行顯示。