潔凈室施工及驗收規(guī)范

在電子行業(yè)的潔凈室建設(shè)和驗收中，遵循一定的規(guī)范是確保潔凈度要求得以滿足的基礎(chǔ)。以下是對《潔凈室施工及驗收規(guī)范》GB 50591-2010的詳細(xì)解讀和指導(dǎo)原則。

施工規(guī)范概述

設(shè)計基準(zhǔn)及標(biāo)準(zhǔn)

潔凈室的建設(shè)必須依據(jù)《潔凈室施工及驗收規(guī)范》GB 50591-2010指導(dǎo)，該規(guī)范詳細(xì)規(guī)定了建筑結(jié)構(gòu)、內(nèi)飾、空氣凈化系統(tǒng)和消防系統(tǒng)等17個方面的要求，包括必須遵守的規(guī)定和驗收程序。設(shè)計過程中應(yīng)參考國際標(biāo)準(zhǔn)如ISO 14644-1，并考慮特定行業(yè)的需求，例如半導(dǎo)體潔凈室應(yīng)達(dá)到百級潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。

材料與施工要點(diǎn)

選用的建筑裝飾材料應(yīng)是無塵、抗腐蝕和防靜電的，例如采用不銹鋼板、環(huán)氧樹脂自流平地面和彩色鋼板吊頂。在主體結(jié)構(gòu)的施工中，必須確?；炷翛]有裂痕，具有優(yōu)良的平整度，并使用密封效果好的門窗以降低外界污染。

空氣凈化系統(tǒng)

空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)包括初、中、高效三級過濾器，即HEPA過濾器，并要合理規(guī)劃送風(fēng)量、換氣次數(shù)以及氣流的組織方式。此外，空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立配置，溫濕度控制精度需符合生產(chǎn)工藝的要求，且在正式運(yùn)行前需提前24小時開啟以確保系統(tǒng)穩(wěn)定。

電氣系統(tǒng)與防靜電措施

電氣系統(tǒng)必須滿足防爆和防靜電的相關(guān)規(guī)范，所有電纜都應(yīng)穿管保護(hù)，并使用阻燃材料。此外，地面和墻面也需要安裝導(dǎo)靜電設(shè)施，以防止靜電積聚對敏感設(shè)備或產(chǎn)品造成損害。

驗收規(guī)范細(xì)節(jié)

驗收階段劃分

• 竣工驗收：由建設(shè)方組織進(jìn)行，主要檢查施工質(zhì)量與設(shè)計的一致性。
• 功能驗收：由第三方檢測機(jī)構(gòu)執(zhí)行，驗證系統(tǒng)運(yùn)行的有效性。
• 使用驗收：在模擬實際生產(chǎn)環(huán)境的條件下，驗證動態(tài)狀態(tài)下的潔凈度和壓差等關(guān)鍵參數(shù)。

關(guān)鍵檢測項目

• 潔凈度檢測：使用粒子計數(shù)器測量空氣中的粒子濃度，結(jié)果應(yīng)符合ISO或相應(yīng)國家標(biāo)準(zhǔn)的要求。
• 壓差測試：確保潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間維持適當(dāng)?shù)撵o壓差，以防止污染物擴(kuò)散。
• 風(fēng)量與風(fēng)速：在單向流潔凈室中測量平均風(fēng)速，在非單向流潔凈室中計算換氣次數(shù)。

檢測條件與記錄

所有檢測設(shè)備都必須經(jīng)過校準(zhǔn)并處于有效期內(nèi)。測試前，空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)運(yùn)行超過24小時。驗收文檔應(yīng)包括材料審批表、隱蔽工程記錄、系統(tǒng)調(diào)試報告等，并應(yīng)予以妥善保存。

其他注意事項

在施工過程中，應(yīng)加強(qiáng)隔離措施，如設(shè)置氣閘室和緩沖間，以避免交叉污染。同時，還應(yīng)定期維護(hù)空氣過濾系統(tǒng)，并及時更換失效的過濾器，以保持長期的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。